耐高温

耐温1000℃的温度，适用于各种高温热处理工艺环境，确保在极端温度条件下稳定工作。

实时性

实时提供晶圆定点精准温度数据，确保工艺过程的实时监控，及时发现温度异常。

可视性

多点采集提供整个晶圆温度分布情况，直观展示温度场分布，便于工艺分析和优化。

快速性

响应速度快、精准捕捉关键参数，及时发现温度异常，确保工艺稳定性。

工艺可控性

实时监控热处理温度变化调整工艺参数，提升产品良率，确保生产质量。